第一百六十七章 芯片产业协会(2/4)
国外的公司曾经非常傲慢的宣称,即便把光刻机所有零件都给你们,你们也无法完成光刻机的组装!
精度问题的第一道难关就是光学系统。
光刻机的曝光光学系统,由数十块锅底大的镜片串联组成,其光学零件精度控制在几个纳米以内,陈涵相信它的微观干涉能力,应该可以解决这个难题。
第二道难关是光刻机的激光光源,光刻用准分子激光器光源需要窄线宽、大能量和高脉冲频率,这些参数互相矛盾,研制难度极大。
而且拆开光刻机,零件都会损坏,国内的仿制基本都是从拆仪器开始的,光刻机价格上亿也不是不可以拆,只不过现在拆了内部就被破坏。
纳米层面一点点改变,后续研究就无法进行下去了。
目前能够攻克这个系统的只有脚盆国的一家科技公司,而其他公司都被
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