第374章 参加会展买AMSL买光刻机（4/4）

另外，我们有全自动晶圆处理系统，可以容纳从直径200毫米的晶圆到小块的基板。

前不久，Icm位于xx市东菲什基尔晶圆厂刚刚采购了一批我们的设备，用于建造8英寸晶圆生产线。”

这里所说的“I线”和“G线”指的是不同类型的光刻胶，这是根据曝光光源波长来分类的：

G线对应着436nm的波长，应用于6寸晶圆、

I线是365nm，用于6寸、8寸晶圆、

深紫外，也就是dUV，包括KrF 248nm（用于8寸晶圆）和ArF 193nm（12寸晶圆）、

以及我们熟知的极紫外(EUV)，用于12寸晶圆。

这也是光刻机的演进方向。

在1991年，大多数的光刻机还是第一

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