第378章 有了林本间，我们的光刻机可以领先世界30年！（2．4合1）（3/4）
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林本间认为，既然157纳米的波长难做，那干脆就不做，只需要维持着193纳米的波长，在镜头和光刻胶之间加一层水，经过水的折射，光线波长就可以从193纳米变成132纳米，一举突破157纳米的天堑。
这层水，也就是“浸润”这个名字的由来。
传统的技术，就是镜头直接面对晶圆，镜头和晶圆中间只是空气。
虽说林本间从1986年就开始研究浸润式微影技术，但在早期，还有很多方法可用，并不一定需要浸润式这把牛刀，所以浸润式一直是一个冷门的技术，基本上没有引起外界的关注；
浸润式真正引起轰动的是在2002年，当时，关于193纳米下不去这事已经火烧屁股了，林本间受邀到比立时参加“国际微影讨论会”，在会上再次提出浸入式技术，并发表了浸润式设备及操作的示意图。
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