第380章 AMSL的救命稻草(2/4)
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比尔问道:“所以,‘对准方式’是什么东西?”
凯茜就像解答金融知识一样快速地回答:
“这指的是光刻机的定位方式。
目前,套刻精度十分重要,因为准确套刻不同芯片图案并进行曝光是一个业界难题。
彬认为AmSL的方法最好,与竞争对手相比,精确性有会实质性的提升。”
比尔又问:“等等,什么又是‘套刻精度’?”
凯茜无奈摊摊手:
“抱歉,比尔,我没办法向你解释。
相信我,如果我要解释的话,我们之间的对话将会无穷无尽。
这就是正常人面对这些术语的痛苦,通常,我一个词语还没弄懂,也许就在下一行,又会蹦出好几个陌生词汇。
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