第254章 拜访傅老师（下）（1/4）
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他这话匣子一打开，就有点收不住的趋势。
毕竟说到自己最得意，也最头疼的技术环节，研究者本能就上来了。
林飞听得非常认真，不时点头，然后追问。
“低压等离子体？这个思路巧妙！能有效分解碳氢污染物而不损伤钼硅多层膜？等离子体功率和气体配比是怎么优化的？会不会产生二次污染？”
他问的问题，每一个都切中要害，显示出他不仅懂理论，对实际工程中的坑也门儿清。
傅教授越听越心惊！这小子不是略懂，是相当懂啊！
他忍不住也开始较真起来，抛出了一个更刁钻的问题。
“光有收集镜效率不够，光源功率和稳定性才是瓶颈。我们现在卡在锡滴发生器上，液滴的均匀性和稳定性一直达不到理想状态，导致EUV光子产出率波
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