第254章 拜访傅老师(下)(1/4)
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他这话匣子一打开,就有点收不住的趋势。
毕竟说到自己最得意,也最头疼的技术环节,研究者本能就上来了。
林飞听得非常认真,不时点头,然后追问。
“低压等离子体?这个思路巧妙!能有效分解碳氢污染物而不损伤钼硅多层膜?等离子体功率和气体配比是怎么优化的?会不会产生二次污染?”
他问的问题,每一个都切中要害,显示出他不仅懂理论,对实际工程中的坑也门儿清。
傅教授越听越心惊!这小子不是略懂,是相当懂啊!
他忍不住也开始较真起来,抛出了一个更刁钻的问题。
“光有收集镜效率不够,光源功率和稳定性才是瓶颈。我们现在卡在锡滴发生器上,液滴的均匀性和稳定性一直达不到理想状态,导致EUV光子产出率波
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